InPower Dry vane Pam vakum yang digunakan dalam industri semikonduktor untuk mencipta persekitaran vakum yang bersih dan kering. temui pelbagai aplikasi dalam industri semikonduktor kerana kebersihan, kebolehpercayaan dan kecekapannya. Pam ini penting untuk proses seperti pemendapan wap kimia, pemendapan wap fizikal, implantasi ion, dan etsa.
Ciri-ciri:
Pam vakum ram kering ialah sejenis pam vakum yang menggabungkan faedah teknologi skru kering dengan penyejukan air untuk meningkatkan prestasi dan kecekapan. Ia menawarkan penyelesaian yang boleh dipercayai, cekap dan penyelenggaraan yang rendah untuk menuntut aplikasi vakum yang memerlukan kedua-dua operasi kering dan pelesapan haba yang berkesan.
Model:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
Vakum muktamad: Kurang daripada atau sama dengan 1Pa
KELAJUAN 50 Hz:30-500 L/s
KELAJUAN 60 Hz:36 - 600 L/s
|
Model |
LGB30 |
LGB50 |
LG70 |
LGB110 |
LGB150 |
LGB180 |
LGB200 |
LGB220 |
LGB270 |
LGB300 |
LGB360 |
LG400 |
LGB500 |
||
|
KELAJUAN(50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
Vakum Muktamad (50Hz) |
Pa |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
Tekanan ekzos maksimum |
Bar |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
KUASA(50Hz) |
KWj |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
Kelajuan Motor(50Hz) |
Rpm |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
Sambung |
DALAM |
mm |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
KELUAR |
Mm |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
air |
Aliran |
L/min |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
Tekanan |
Mpa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
Sambung |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
Kaedah Penyejukan |
Udara/Air |
Udara/Air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
air |
|
|
bising |
Db |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
Berat badan |
Kg |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
|
|
Keperluan Khas |
Mengikut keperluan, ia boleh dikonfigurasikan dengan frekuensi berubah-ubah, anti-karat, kalis letupan, dll |
||||||||||||||
inPower Dry vane Pam vakum Kawasan aplikasi:
Pembuatan Semikonduktor:
Dalam proses fabrikasi semikonduktor seperti CVD, PVD, implantasi ion dan etsa, pam vakum skru kering yang disejukkan dengan air membantu mengekalkan tahap vakum yang diperlukan sambil menawarkan pelesapan haba yang cekap untuk memastikan prestasi yang konsisten.
Pemendapan Filem Nipis:
Pam skru kering yang disejukkan dengan air digunakan dalam teknik pemendapan filem nipis seperti sputtering dan penyejatan, di mana kawalan vakum yang tepat dan pengurusan haba adalah penting untuk mendepositkan filem nipis seragam pada substrat.
Proses Rawatan Haba:
Industri yang terlibat dalam proses rawatan haba, seperti metalurgi dan aeroangkasa, bergantung pada pam vakum skru kering yang disejukkan air untuk mencipta persekitaran vakum untuk penyepuhlindapan, pematerian dan rawatan suhu tinggi yang lain sambil mengekalkan sistem sejuk.
Pemprosesan Kimia dan Farmaseutikal:
Pam skru kering yang disejukkan dengan air memainkan peranan penting dalam aplikasi pemprosesan kimia di mana mengekalkan vakum yang bersih dan kering diperlukan untuk tindak balas, penyulingan dan proses pemulihan pelarut.
Penyelidikan dan pembangunan:
Makmal dan kemudahan penyelidikan merentas pelbagai industri menggunakan pam vakum skru kering yang disejukkan dengan air untuk ujian dan eksperimen, menyediakan keadaan vakum yang boleh dipercayai untuk mengkaji bahan, proses dan peralatan.
Cool tags: pam vakum ram kering, pengeluar pam vakum ram kering China, pembekal, kilang, လေဟာနယ်စုပ်စက်အလိုအလျောက်, လေဟာနယ် Pump Pump Prophects, လေဟာနယ်စုပ်စက်ထိန်းချုပ်မှုစနစ်, လေဟာနယ်စုပ်စက်ပေါင်းစည်းမှု, လေဟာနယ်စုပ်စက် interface ကို, လေဟာနယ် pump pump
